刘超 (教授)

教授 博士生导师 硕士生导师

性别:男

毕业院校:香港科技大学

学位:博士

在职信息:在职

所在单位:集成电路学院

入职时间:2019-04-26

学科:微电子学与固体电子学

办公地点:山东大学软件园校区3-B栋302室

电子邮箱:chao.liu@sdu.edu.cn

   

材料制备类

1.单靶射频溅射

2.电子束蒸发镀膜仪

3.热阻蒸发镀膜仪

4.原子层沉积系统(ALD)

5.化学气相沉积系统

6.金属有机物化学气相沉积系统(MOCVD)

7.激光脉冲沉积系统(PLD)

8.金属有机蒸发镀膜设备

9.高真空磁控溅射台