false

刘超 (教授)

false

教授 博士生导师 硕士生导师

性别:男

毕业院校:香港科技大学

学历:研究生(博士)毕业

学位:博士

在职信息:在职

所在单位:微电子学院

入职时间:2019-04-26

学科:微电子学与固体电子学

办公地点:山东大学软件园校区3-B栋302室

电子邮箱:chao.liu@sdu.edu.cn

1.电子束曝光系统(EBL)

2.激光直写

3.紫外曝光系统

4.ICP-RIE 干法刻蚀系统

5.超声波金丝球焊线机

6.UV ozone

7.氧等离子体清洗机