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刘超 (教授)

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教授 博士生导师 硕士生导师

性别:男

毕业院校:香港科技大学

学历:研究生(博士)毕业

学位:博士

在职信息:在职

所在单位:微电子学院

入职时间:2019-04-26

学科:微电子学与固体电子学

办公地点:山东大学软件园校区3-B栋302室

电子邮箱:chao.liu@sdu.edu.cn

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  • 山东大学微电子学院是教育部批准的全国示范性微电子学院之一(全国26所),获得山东大学“十三五”激励学科计划支持,确保了“十三五”期间微电子学院学科平台建设的稳定经费投入。学院微纳加工平台目前超净室面积800余平米,配有完善的材料生长、器件工艺加工、材料和器件以及半导体芯片性能测试设备总值近5500万元,加工精度可达7nm, 器件测试频率高达750 GHz。



  • 1.电子束曝光系统(EBL)

    2.激光直写

    3.紫外曝光系统

    4.ICP-RIE 干法刻蚀系统

    5.超声波金丝球焊线机

    6.UV ozone

    7.氧等离子体清洗机




  • 1.单靶射频溅射

    2.电子束蒸发镀膜仪

    3.热阻蒸发镀膜仪

    4.原子层沉积系统(ALD)

    5.化学气相沉积系统

    6.有机化学气相沉积系统(MOCVD)

    7.激光脉冲沉积系统(PLD)

    8.金属有机蒸发镀膜设备

    9.高真空磁控溅射台




  • 1.高频测试系统

    2.直流测试系统

    3.fA级半导体参数测试系统

    4.低温强磁场探针台

    5.扫描电子显微镜(SEM)

    6.显微拉曼光谱仪

    7.光学分析与太阳能测试系统

    8.紫外-可见光分光光度计

    9.低温测试系统

    10.半导体参数分析仪

    11.霍尔效应及磁电阻测量系统

    12.光谱(PL)测量系统

    13.PDL基站数传电台

    14. 示波器