山东大学教师主页姜向远一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法中文主页

姜向远 ( 副教授 ) 赞
个人主页 https://faculty.sdu.edu.cn/jiangxiangyuan/zh_CN/index.htm

专利当前位置：中文主页 >> 科学研究 >> 专利

一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法

点击次数：
专利名称：一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法
所属单位：控制科学与工程学院
专利类型：发明
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2020-11-26
发布时间：2021-09-02

上一条：一种GaN衬底生长加热炉温度自整定方法及系统

下一条：一种新型氢化物气相外延压力控制系统及方法