所属单位：控制科学与工程学院
专利类型：发明
申请号：JP202213111.5
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2022-08-19
公开日期：2023-05-01
授权日期：2023-05-01
李贻斌教授
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一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置
发布时间：2023-09-07|点击次数：
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所属单位：控制科学与工程学院
专利类型：发明
申请号：JP202213111.5
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2022-08-19
公开日期：2023-05-01
授权日期：2023-05-01