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微电子系主任
E-Mail: yxli@email.sdu.edu.cn
集成电路学院教授、博士生导师，九三学社社员，微电子系主任，山东省一流专业微电子科学与工程专业负责人，山东电子学会电子元器件与材料专委会副主任委员，国际期刊European Physical Journal-Applied Physics副主编。曾获“九五”国家科技攻关先进个人，山东省 “新世纪巾帼发明家”，山东大学优秀教师、本科教学优秀奖和“三八红旗手”。先后到美国University of North Carolina at Chapel Hill、韩国 Korea Advanced Institute of Science and Technology、英国Durham University做访问研究。主要研究方向为薄膜半导体器件及微纳集成电路，主持国家重点研发计划、国家“八五”、“九五”科技攻关计划、国家重点军工项目、国家自然科学基金等科研项目10余项，国家重点研发计划、国家科学技术奖励会评专家。获国家发明四等奖、山东省科技进步一等奖、山东省技术发明二等奖、教育部科技进步二等奖、“九五”国家科技攻关优秀成果等奖励20余项。获国家发明专利5项，在国内外学术刊物上发表论文40余篇。
长期从事《大学物理》、《电磁学》、College Physics、《集成电路工艺实验》等课程的教学工作。《电磁学》和《大学物理》两门国家一流本科课程负责人，主讲的《大学物理-电磁学和光学》MOOC课程在中国大学MOOC和学堂在线在线开课20轮次，选课人数20余万人，入选中宣部“学习强国”平台。主持/参与国家和省部级教研项目12项，发表教研论文10余篇，获国家教学成果二等奖、山东省研究生教育教学成果二等奖、山东大学首届“教师教学创新大赛”二等奖。
山东大学集成电路学院 , 教授
山东大学微电子学院
山东大学物理学院 , 教授
英国 Durham University , School of Engineering and Computer Science , 访问教授
韩国 Korea Advanced Institute of Science and Technology , Department of Electrical Engineering , 访问教授
美国 University of North Carolina at Chapel Hill , Department of Chemistry , 访问学者
山东大学物理学院 , 副教授
山东大学物理学院 , 材料物理与化学，博士学位
山东大学光电材料与器件研究所 , 讲师、副教授
山东大学新材料研究所 , 高分子化学，硕士学位
山东大学化学系 , 化学，学士学位
| Category | Major | Introduction | Number of People | Year |
|---|---|---|---|---|
|
Doctoral admissions |
集成电路科学与工程 |
课题组每年招收博士研究生1-2名，欢迎具有微电子、物理、材料等相关专业背景的同学积极报考。课题组常年招聘博士后，欢迎优秀博士加盟。 有意者请将个人简历及成绩单发至yxli@email.sdu.edu.cn。 |
2 |
2025 |
|
Master students recruit students |
电子信息-集成电路工程 |
3 |
2025 |
| Undergraduate Course Name | Semester | Credit | Course Number |
|---|---|---|---|
|
微纳加工工艺和测试 |
Autumn Term |
2.0 |
0230069 |
|
大学物理（1） |
Spring Term |
3.0 |
sd04031150 |
|
大学物理（2） |
Autumn Term |
3.0 |
sd04020080 |
|
电磁学 |
Spring Term |
3.0 |
sd04030270 |
|
毕业论文 |
Spring Term |
8.0 |
sd04030880 |
|
大学物理（医学留学生） |
Spring Term |
2.5 |
sd04030020 |
|
专业英语（硕） |
Autumn Term |
2.0 |
0230011 |
| Name | Introduction |
|---|---|
|
研究方向 |
| Project Name | Project Cycle |
|---|---|
|
BEOL TFT工艺技术合作项目 |
2022/03/11,2023/06/11 |
|
新型纳米存储器的材料与单元研究 |
2016/07/01,2021/06/30 |
|
兼具整流效应的新型柔性阻变存储器的研究 |
2013/10/01,2016/10/31 |
|
石墨烯增强的新型聚合物柔性阻变存储器的性能调控与存储机理研究 |
2012/12/20,2013/12/31 |
|
超临界二氧化碳用于半导体纳米器件清洗和刻蚀工艺的研究 |
2009/01/01,2011/12/30 |
|
集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业研发 |
2008/09/01,2010/12/31 |
|
超临界二氧化碳微乳液在半导体纳米器件清洗技术中的应用 |
2008/01/01,2010/12/31 |
【1】xinqian, Li Yuxiang, Song A M, 马鹏飞, Pengfei Ma, Wenhao Guo, Jiamin Sun, Jiacheng Gao, Guanqun Zhang, Qian Xin, Yuxiang Li and Aimin Song.Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic–layer deposition. Semiconductor Science and Technology, 34, 105004 (2019), 34:105004,2019.
【2】Pengfei Ma, Jiamin Sun, Guanqun Zhang, Guangda Liang, Qian Xin, Yuxiang Li and Aimin Song.Low-temperature fabrication of HfAlO alloy dielectric using atomic-layer deposition and its application in a low-power device. JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS Journal, 792:543,2019.
【3】Yiming Wang, xinqian, Li Yuxiang, Song A M, 马鹏飞, Pengfei Ma, Guangda Liang, Yunpeng Li, Qian Xin, Yuxiang Li and Aimin Song.High-Performance InGaZnO-Based ReRAMs. IEEE Transactions on Electron Devices, 66:2600,2019.
【4】Pengfei Ma, Jiamin Sun, Guangda Liang, Yunpeng Li, Qian Xin, Yuxiang Li and Aimin Song.Half-volt operation of IGZO thin-film transistors enabled by ultrathin HfO2 gate dielectric. Applied physics letters, 113,2018.
【5】xinqian, Song A M, Yiming Wang, Shi Yanpeng, Li Yuxiang, wangqingpu, Jin Yang, Hanbin Wang, Jiawei Zhang, He Li, Gengchang Zhu, Yanpeng Shi, Yuxiang Li, Qingpu Wang, Qian Xin, Zhongchao Fan, Fuhua Yang and Aimin Song.Amorphous-InGaZnO Thin-Film Transistors Operating Beyond 1 GHz Achieved by Optimizing the Channel and Gate Dimensions. IEEE Transactions on Electron Devices, 65:1377,2018.
【6】Yiming Wang, xinqian, Li Yuxiang, Song A M, 马鹏飞, Pengfei Ma, Lulu Du, Qian Xin, Yuxiang Li and Aimin Song.Low voltage operation of IGZO thin film transistors enabled by ultrathin Al2O3 gate dielectric. Applied physics letters, 112,2018.
【7】杨乐陶, Xijian Zhang, Li Yuxiang, chenxiufang, xuxiangang, Song A M and zhaoxian.Thermally Evaporated SiO Serving as Gate Dielectric in Graphene Field-Effect Transistors. IEEE Transactions on Electron Devices, 64:1846,2017.
【8】魏甜甜, jiangran and Li Yuxiang.Nonvolatile organic resistive switching memory based on poly(o-methoxyaniline) film. Microelectron. Eng., 162:85,2016.
【9】李波, wangqingpu and Li Yuxiang.The effects of supercritical CO2 formulations on the removal of high-dose ion-implanted photoresists. Microelectron. Eng., 108:50,2013.
【10】李波, wangqingpu and Li Yuxiang.The Stripping Behavior of High-Dose Ion-Implanted Photoresists in Supercritical CO2 Formulations. ECS J. Solid State Sci. & Tech., 2:73,2013.
【11】韩婷婷, wangqingpu and Li Yuxiang.High-dose ion-implanted photoresist stripping in environmentally benign supercritical CO2 nonfluorous surfactant microemulsions. Microelectron. Eng., 96:1,2012.
【12】Li Yuxiang.Low-Voltage High-Performance Pentacene Thin-Film Transistors with Ultrathin PVP/High-k HfLaO Hybrid Gate Dielectric. IEEE Electron Device Letters, 31:1308,2010.
【13】Li Yuxiang and wangqingpu.Effects of annealing on the optical and electronic properties of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) copolymer thin films. Adv. Mater. Res., 79-82:919,2009.
【14】Li Yuxiang.Study of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) as a potential organic high K gate dielectric. J. Vac. Sci. Technol., A, 25:275,2007.
【15】Li Yuxiang.Etching SiO2 with HF/pyridine-supercritical carbon dioxide solutions and resultant interfacial electronic properties. J. Vac. Sci. Technol., B, 25:1139,2007.
【16】Xijian Zhang, Li Yuxiang, wangqingpu, Ma Jin, Fujian Zong and xiaohongdi.The optical properties of MgxZn1-xO thin films. Chinese Physics, 15:2385,2006.
【17】Li Yuxiang.A study of the optical and electronic properties of poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene) copolymer thin films. Thin Solid Films, 513:283,2006.
| Patent Name | Introduction | Date |
|---|---|---|
|
电子工业用玻璃清洗剂组合物 |
2005/05/18 |
|
|
一种水基金属零件清洗剂组合物 |
2003/07/09 |
|
|
一种印制线路板用水基清洗剂组合物 |
2004/08/18 |
|
|
一种水基液晶清洗剂组合物 |
2004/08/18 |
|
|
一种水剂清洗剂组合物 |
2001/01/22 |
