个人简介
【个人简介】:
王成园,女,中共党员,山东大学集成电路学院实验师,现工作于集成电路学院集成电路工艺创新中心。
日常主要负责微纳加工与测试系统等部分核心设备,总价值一千万元以上,如多套射频磁控溅射镀膜系统、等离子体增强原子层沉积系统、激光显微拉曼光谱测试系统等。
教学方面,承担了本科生《集成电路工艺实验》、本科生“一生一管”创新项目、本科生毕业设计、研究生《微纳加工工艺和测试》等部分课程,参与了学院部分科研项目及虚拟仿真实验软件项目等。
【研究方向】:半导体材料、薄膜半导体器件及微纳集成电路
【科研项目】:
(1) 国家科技部, 国家重点研发计划课题, 2017YFA0305500 , III-V 族半导体三维异质纳米线的原位构筑与红外探测应用, 2017-07 至 2021-12, 488万元, 结题, 参与
(2) 山东省自然科学基金委 , 省自然科学重大基础项目, ZR2022ZD05, 超薄非接触式芯片模块制造方法研究, 2023-01 至 2025-12, 188万元, 在研, 参与
(3) 国家自然科学基金委员会, 青年科学基金项目, 61805127, 基于微腔结构的可调控太赫兹生化传感器的研究, 2019-01-01 至 2021-12-31, 20万元, 结题, 参与
(4) 山东省自然科学基金委, 博士基金, ZR2019BF014, 高灵敏度可调控太赫兹传感器的研究 ,2019-07 至 2022-06, 10万元, 结题, 参与
【教育经历】:
2020.9---至 今 山东大学 微电子学与固体电子学 博士研究生
2013.9---2016.6 中国石油大学(华东) 物理学 硕士
2009.9---2013.6 中国石油大学(华东) 应用物理学 本科
【工作经历】:
2023.10---至 今 山东大学 集成电路学院 实验师
2019.9---2023.10 山东大学 微电子学院 实验师
2016.7---2019.08 山东大学 微电子学院 助理实验师