集成电路溅射靶材关键制备技术研发

发布时间:2024/04/30|点击次数:

所属单位:材料科学与工程学院

负责人姓名:王伟民

项目性质:纵向

项目编号:16C043EE18D63112E063BE07C2CAFDDE

立项时间:2023/10/07

计划完成时间:2026/06/30

结项日期:2026/06/30

开始日期:2023/07/01

项目批准号:2023CXGC010308-1