专利
氧化镥薄膜的低成本、高效制备方法
  • 所属单位:
    晶体材料研究院
  • 专利类型:
    发明
  • 申请号:
    202010992894.2
  • 发明人数:
    5
  • 是否职务专利:
  • 公开日期:
    2021-11-09
  • 授权日期:
    2021-11-09

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