所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:徐现刚
项目性质:纵向
项目级别:省、部委级
项目编号:F365BC17C58D28FBE053BE07C2CAC7F1
立项时间:2022/11/01
计划完成时间:2025/12/31
结项日期:2025/12/31
开始日期:2022/11/01
项目批准号:2022ZLGX02
所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:徐现刚
项目性质:纵向
项目级别:省、部委级
项目编号:F365BC17C58D28FBE053BE07C2CAC7F1
立项时间:2022/11/01
计划完成时间:2025/12/31
结项日期:2025/12/31
开始日期:2022/11/01
项目批准号:2022ZLGX02