A unipolar nano-diode detector with improved performance using the high-k material SiNx
发布时间：2022-11-16
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- 所属单位：
- 微电子学院
- 发表刊物：
- Semiconductor Science and Technology
- 关键字：
- self-switching diode;SiNx;high-k;nano-rectifier;Coatings;Diodes;Electric field effects;Electric rectifiers;Plasma enhanced chemical vapor deposition;Semiconductor switches;Silicon
- 第一作者：
- 张翼飞
- 论文编号：
- 28AE00F0E7084656AC7130A02B9E9384
- 卷号：
- 33
- 期号：
- 11
- 页面范围：
- 114016
- 字数：
- 2000
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2018-11-01