教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：香港科技大学
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
入职时间：2019-04-26
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：山东大学软件园校区3-B栋302室
1.电子束曝光系统（EBL）
2. 激光直写
3. 紫外曝光系统
4. ICP-RIE干法刻蚀系统
5. 超声波金丝球焊接机
6. UV Ozone
7. O2 plasma stripper
