标题：
EXPERIMENTAL STUDY ON ULTRASONIC VIBRATION-ASSISTED WECDM OF GLASS MICROSTRUCTURES WITH A HIGH ASPECT RATIO
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论文名称：
EXPERIMENTAL STUDY ON ULTRASONIC VIBRATION-ASSISTED WECDM OF GLASS MICROSTRUCTURES WITH A HIGH ASPECT RATIO
发表刊物：
MICROMACHINES
第一作者：
陈岩
论文编号：
876171E3DA5F4A1D97F8082084F19D86
卷号：
12
期号：
2
字数：
5
是否译文：
否
发表时间：
2021-02
发布时间：
2021-09-23
职称：副教授
所在单位：核科学与能源动力学院