Project Name: : 高温压电晶体制备及 MEMS 压力传感器研制

Affiliation of Participant(s): : 晶体材料研究院

Leading Scientist: : 于法鹏

Supported by: : 2022年国家重点研发计划科技型中小企业项目-- 青岛芯笙微纳电子科技有限公司

Nature of Project: : 纵向

Project level: : National

Project Number: : 0F0B34054B0A7FFBE063BE07C2CA82D8

Date of Project Approval: : 2023-12-01

Scheduled completion time: : 2026-11-30

Date of Project Completion: : 2026-11-30

Date of Project Initiation: : 2023-12-01

Project Approval Number: : 2023YFB3210700