一种蓝宝石模板上GaN单晶衬底高温激光剥离装置及剥离方法
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所属单位：新一代半导体材料研究院
专利类型：发明
申请号：202110855731.4
发明人数：10
是否职务专利：否
申请日期：2021-07-28
公开日期：2024-03-22
授权日期：2024-03-22
个人信息 Personal information
在职信息：在职
所在单位：晶体材料研究院
入职时间：2005-10-27