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从事学院大型设备(薄膜沉积、干法刻蚀、热处理等)管理和工艺研究 。
山东大学集成电路学院 
山东省科学院能源研究所 
山东电力工程咨询院有限公司 
华北电力大学硕士 
项目名称 | 项目周期 |
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高稳定性n型氧化物薄膜晶体管及应用 |
2023/09/01,2024/12/31 |
Plasma工艺技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
电路基础功能单元技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
短沟道器件技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
2T0C存储单元技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
高稳定性p型薄膜晶体管及应用 |
2023/09/01,2024/12/31 |
LTPS工艺技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
BM晶体管V2技术合作项目 |
2023/09/01,2024/12/31 |
p型氧化物薄膜晶体管 |
2022/03/11,2023/06/11 |
BEOL TFT工艺技术合作项目 |
2022/03/11,2023/06/11 |