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从事学院大型设备（薄膜沉积、干法刻蚀、热处理等）管理和工艺研究 。
山东大学集成电路学院
山东省科学院能源研究所
山东电力工程咨询院有限公司
华北电力大学硕士
| 项目名称 | 项目周期 |
|---|---|
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基于柔性薄膜的6G太赫兹芯片与三维电路集成的研究 |
2024-01-01,2026-12-31 |
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高稳定性n型氧化物薄膜晶体管及应用 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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Plasma工艺技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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电路基础功能单元技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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短沟道器件技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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2T0C存储单元技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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高稳定性p型薄膜晶体管及应用 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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LTPS工艺技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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BM晶体管V2技术合作项目 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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p型氧化物薄膜晶体管 |
2022-03-11,2023-06-11 |
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BEOL TFT工艺技术合作项目 |
2022-03-11,2023-06-11 |
