项目名称:硅基微阵列芯片的表面差分功能化工艺研究
所属单位:机械工程学院
负责人姓名:满佳
项目性质:横向
项目编号:C4DD4C5F529677F7E053BE07C2CA0610
立项时间:2021-06-03
计划完成时间:2022-05-31
结项日期:2022-05-31
开始日期:2021-06-03
发布时间:2022-05-27
项目名称:硅基微阵列芯片的表面差分功能化工艺研究
所属单位:机械工程学院
负责人姓名:满佳
项目性质:横向
项目编号:C4DD4C5F529677F7E053BE07C2CA0610
立项时间:2021-06-03
计划完成时间:2022-05-31
结项日期:2022-05-31
开始日期:2021-06-03
发布时间:2022-05-27