硅基微阵列芯片的表面差分功能化工艺研究

发布时间:2022-05-27| 点击次数:

项目名称:硅基微阵列芯片的表面差分功能化工艺研究

所属单位:机械工程学院

负责人姓名:满佳

项目性质:横向

项目编号:C4DD4C5F529677F7E053BE07C2CA0610

立项时间:2021-06-03

计划完成时间:2022-05-31

结项日期:2022-05-31

开始日期:2021-06-03

发布时间:2022-05-27