一种利用紫外光致亲水性判断HVPE外延生长蓝宝石衬底GaN掺杂类型的方法
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Title:一种利用紫外光致亲水性判断HVPE外延生长蓝宝石衬底GaN掺杂类型的方法
Institution:晶体材料研究所
Type of Patent:发明
Application Number:2016102059329
Number of Inventors:1
Service Invention or Not:No
Application Date:2016-04-05
Publication Date:2018-08-03
Authorization Date:2018-08-03
Release Time:2019-04-15