所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:刘铎
项目来源单位:2021年国家自然科学基金
项目性质:纵向
项目级别:国家级
项目编号:D052335E6AB33AE4E053BE07C2CA47AB
立项时间:2021/10/12
计划完成时间:2025/12/31
结项日期:2025/12/31
开始日期:2022/01/01
项目批准号:52172296
所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:刘铎
项目来源单位:2021年国家自然科学基金
项目性质:纵向
项目级别:国家级
项目编号:D052335E6AB33AE4E053BE07C2CA47AB
立项时间:2021/10/12
计划完成时间:2025/12/31
结项日期:2025/12/31
开始日期:2022/01/01
项目批准号:52172296