所属单位:新一代半导体材料集成攻关大平台
负责人姓名:徐现刚
研究类别:研究与发展成果应用
项目性质:横向
项目参与人员:胡小波,陈秀芳,彭燕,徐明升,谢雪健,刘鑫彤
项目编号:A3733C2A75E9153AE053BE07C2CA99B9
立项时间:2019/09/01
计划完成时间:2022/08/30
结项日期:2022/08/30
开始日期:2019/09/01
所属单位:新一代半导体材料集成攻关大平台
负责人姓名:徐现刚
研究类别:研究与发展成果应用
项目性质:横向
项目参与人员:胡小波,陈秀芳,彭燕,徐明升,谢雪健,刘鑫彤
项目编号:A3733C2A75E9153AE053BE07C2CA99B9
立项时间:2019/09/01
计划完成时间:2022/08/30
结项日期:2022/08/30
开始日期:2019/09/01