项目名称：基于模态耦合的MEMS高精度谐振传感方法及器件制作技术研究
所属单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）
负责人姓名：刘铎
项目来源单位：2020年省自然科学基金联合基金
项目性质：纵向
项目级别：省、部委级
项目编号：BF49429CAD273725E053BE07C2CA1C20
项目批准号：ZR2020LLZ005
立项时间：2020-12-16
计划完成时间：2023-12-31
结项日期：2023-12-31
开始日期：2021-01-01
发布时间：2022-05-26