基于模态耦合的MEMS高精度谐振传感方法及器件制作技术研究

发布时间:2022/05/26|点击次数:

所属单位:晶体材料研究院

负责人姓名:刘铎

项目来源单位:2020年省自然科学基金联合基金

项目性质:纵向

项目级别:省、部委级

项目编号:BF49429CAD273725E053BE07C2CA1C20

立项时间:2020/12/16

计划完成时间:2023/12/31

结项日期:2023/12/31

开始日期:2021/01/01

项目批准号:ZR2020LLZ005