所属单位:晶体材料研究所
论文名称:Enhanced 2nd-order resonance actuation and frequency response modulation of microcantilever by dual coplanar counter electrodes
发表刊物:chinese physics letters
第一作者:刘铎
论文类型:基础研究
论文编号:lw-151200
是否译文:否
发表时间:2013-10-01
所属单位:晶体材料研究所
论文名称:Enhanced 2nd-order resonance actuation and frequency response modulation of microcantilever by dual coplanar counter electrodes
发表刊物:chinese physics letters
第一作者:刘铎
论文类型:基础研究
论文编号:lw-151200
是否译文:否
发表时间:2013-10-01