所属单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）
论文名称：Enhanced 2nd-order resonance actuation and frequency response modulation of microcantilever by dual coplanar counter electrodes
发表刊物：chinese physics letters
第一作者：刘铎
全部作者：刘铎
论文编号：lw-151200
字数：3
是否译文：否
发表时间：2013-10
发布时间：2019-10-24