所属单位：新一代半导体材料研究院

论文名称：Fabrication of diamond drum resonators via laser engraving and Si wet etching for high precision temperature sensing

发表刊物：Diamond and Related Materials

第一作者：杜运超

论文编号：3E7CF9BD79264A68A5B7F10E559E5D2A

期号：153

页面范围：112017

是否译文：否

发表时间：2025-01-21