基于激光器的LED大面积可控表面粗化及刻蚀方法

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

申请专利人:刘铎

专利类型:发明

申请号:201010178809.5

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2010-05-21

公开日期:2011-11-23

授权日期:2011-11-23