实现悬臂梁微谐振器频率调谐和频谱展宽的方法和装置

发布时间:2024-05-31|点击次数:

所属单位:新一代半导体材料研究院

专利类型:发明

申请号:202410256777.8

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2024-03-07

公开日期:2024-05-24

授权日期:2024-05-24