刘宏
教授
所属院部: 晶体材料研究院
访问次数:
论文成果
Effects of carbon pre-germanidation implant into Ge on the thermal stability of NiGe films
  • 所属单位:
    晶体材料研究所
  • 发表刊物:
    Microelectronic Engineering
  • 第一作者:
    刘宏
  • 论文类型:
    应用研究
  • 论文编号:
    lw-173047
  • 是否译文:
  • 发表时间:
    2015-01-09
版权所有   ©山东大学 地址:中国山东省济南市山大南路27号 邮编:250100 
查号台:(86)-0531-88395114
值班电话:(86)-0531-88364731 建设维护:山东大学信息化工作办公室