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刘宏
教授
所属院部：
晶体材料研究院
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Effects of carbon pre-germanidation implant into Ge on the thermal stability of NiGe films
发布时间：2019-10-24
所属单位：
晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）
论文名称：
Effects of carbon pre-germanidation implant into Ge on the thermal stability of NiGe films
发表刊物：
Microelectronic Engineering
第一作者：
刘宏
全部作者：
刘宏
论文编号：
lw-173047
是否译文：
否
发表时间：
2015-01
发布时间：
2019-10-24
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