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所属单位：新一代半导体材料研究院

负责人姓名：刘鑫彤

项目来源单位：2021年山东省重点研发计划（软科学项目）

项目性质：纵向

项目级别：省、部委级

项目编号：DFF938D5FE186DF8E053BE07C2CA166D

立项时间：2021-11-01

计划完成时间：2022-11-30

结项日期：2022-11-30

开始日期：2021-11-01

项目批准号：2021RZA01020-3