Modeling and optimizing of laser-assisted waterjet process parameters for near-damage-free micromachining of monocrystalline silicon
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所属单位：机械工程学院
发表刊物：Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part B: Journal of Engineering Manufacture
第一作者：刘雪飞
论文编号：090DFE631BA04A5DA5422442448D61D8
期号：DOI:10.1177/09544054241245763
字数：6273
是否译文：否
发表时间：2024-04-29
发表时间：2024-04-29