Modeling and optimizing of laser-assisted waterjet process parameters for near-damage-free micromachining of monocrystalline silicon

发布时间：2024-12-12

• 所属单位：
  机械工程学院
• 发表刊物：
  Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part B: Journal of Engineering Manufacture
• 第一作者：
  刘雪飞
• 论文编号：
  090DFE631BA04A5DA5422442448D61D8
• 期号：
  DOI:10.1177/09544054241245763
• 字数：
  6273
• 是否译文：
  否
• 发表时间：
  2024-04