The evolution mechanism of femtosecond laser-induced periodic structure on monocrystalline silicon with scanning rate and the associated material rearrangement process

发布时间：2025-06-04

• 所属单位：
  机械工程学院
• 发表刊物：
  Materials Science in Semiconductor Processing
• 第一作者：
  刘雪飞
• 论文编号：
  2E95B69D5A724BEC89DB59D4685F19A3
• 期号：
  197
• 字数：
  6
• 是否译文：
  否
• 发表时间：
  2025-05