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项目名称：高温压电晶体制备及 MEMS 压力传感器研制
所属单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）
负责人姓名：于法鹏
项目来源单位：2022年国家重点研发计划科技型中小企业项目-- 青岛芯笙微纳电子科技有限公司
项目性质：纵向
项目级别：国家级
项目编号：0F0B34054B0A7FFBE063BE07C2CA82D8
项目批准号：2023YFB3210700
立项时间：2023-12-01
计划完成时间：2026-11-30
结项日期：2026-11-30
开始日期：2023-12-01
发布时间：2024-04-17