超洁净清洗方法与装置研究
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所属单位：机械工程学院
负责人姓名：刘增文
项目来源单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
项目性质：纵向
项目级别：地(市、州)级
项目参与人员：刘增文
项目编号：kyxm-50426
立项时间：2013-07-01
计划完成时间：2016-07-30
结项日期：2016-07-30
开始日期：2013-07-01
项目批准号：H1310-KS139
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