项目名称：超洁净清洗方法与装置研究

所属单位：机械工程学院

负责人姓名：刘增文

项目来源单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

项目性质：纵向

项目级别：地(市、州)级

项目参与人员：刘增文

项目编号：kyxm-50426

项目批准号：H1310-KS139

立项时间：2013-07-01

计划完成时间：2016-07-30

结项日期：2016-07-30

开始日期：2013-07-01

发布时间：2019-04-17