专利

一种(AlxGa1-x)2O3薄膜原位退火装置及方法

发布时间:2025-07-01 点击次数:

  • 专利名称:
    一种(AlxGa1-x)2O3薄膜原位退火装置及方法
  • 发明人数:
    4
  • 是否职务专利:
  • 发布时间:
    2025-07-01

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