专利

基于漏斗结构的雾化化学气相沉积装置及其使用方法

发布时间:2025-08-09 点击次数:

  • 专利名称:
    基于漏斗结构的雾化化学气相沉积装置及其使用方法
  • 发明人数:
    5
  • 是否职务专利:
  • 发布时间:
    2025-08-09

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