微电子系主任
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集成电路学院教授、博士生导师，九三学社社员，微电子系主任，山东省一流专业微电子科学与工程专业负责人，山东电子学会电子元器件与材料专委会副主任委员，国际期刊European Physical Journal-Applied Physics副主编。曾获“九五”国家科技攻关先进个人，山东省 “新世纪巾帼发明家”，山东大学优秀教师、本科教学优秀奖和“三八红旗手”。先后到美国University of North Carolina at Chapel Hill、韩国 Korea Advanced Institute of Science and Technology、英国Durham University做访问研究。主要研究方向为薄膜半导体器件及微纳集成电路，主持国家重点研发计划、国家“八五”、“九五”科技攻关计划、国家重点军工项目、国家自然科学基金等科研项目10余项，国家重点研发计划、国家科学技术奖励会评专家。获国家发明四等奖、山东省科技进步一等奖、山东省技术发明二等奖、教育部科技进步二等奖、“九五”国家科技攻关优秀成果等奖励20余项。获国家发明专利5项，在国内外学术刊物上发表论文40余篇。
长期从事《大学物理》、《电磁学》、College Physics、《集成电路工艺实验》等课程的教学工作。《电磁学》和《大学物理》两门国家一流本科课程负责人，主讲的《大学物理-电磁学和光学》MOOC课程在中国大学MOOC和学堂在线在线开课20轮次，选课人数20余万人，入选中宣部“学习强国”平台。主持/参与国家和省部级教研项目12项，发表教研论文10余篇，获国家教学成果二等奖、山东省研究生教育教学成果二等奖、山东大学首届“教师教学创新大赛”二等奖。
山东大学集成电路学院 ，教授
山东大学微电子学院
山东大学物理学院 ，教授
英国 Durham University ，School of Engineering and Computer Science ，访问教授
韩国 Korea Advanced Institute of Science and Technology ，Department of Electrical Engineering ，访问教授
美国 University of North Carolina at Chapel Hill ，Department of Chemistry ，访问学者
山东大学物理学院 ，副教授
山东大学物理学院 ，材料物理与化学，博士学位
山东大学光电材料与器件研究所 ，讲师、副教授
山东大学新材料研究所 ，高分子化学，硕士学位
山东大学化学系 ，化学，学士学位
| 类别 | 专业 | 简介 | 人数 | 年份 |
|---|---|---|---|---|
|
博士研究生招生 |
集成电路科学与工程 |
课题组每年招收博士研究生1-2名，欢迎具有微电子、物理、材料等相关专业背景的同学积极报考。课题组常年招聘博士后，欢迎优秀博士加盟。 有意者请将个人简历及成绩单发至yxli@email.sdu.edu.cn。 |
2 |
2025 |
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硕士研究生招生 |
电子信息-集成电路工程 |
3 |
2025 |
| 本科生课程名称 | 学期 | 学分 | 课程号 |
|---|---|---|---|
|
微纳加工工艺和测试 |
秋学期 |
2.0 |
0230069 |
| 名称 | 简介 |
|---|---|
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研究方向 |
| 项目名称 | 项目周期 |
|---|---|
|
BEOL TFT工艺技术合作项目 |
2022-03-11,2023-06-11 |
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新型纳米存储器的材料与单元研究 |
2016-07-01,2021-06-30 |
|
兼具整流效应的新型柔性阻变存储器的研究 |
2013-10-01,2016-10-31 |
|
石墨烯增强的新型聚合物柔性阻变存储器的性能调控与存储机理研究 |
2012-12-20,2013-12-31 |
|
超临界二氧化碳用于半导体纳米器件清洗和刻蚀工艺的研究 |
2009-01-01,2011-12-30 |
|
集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业研发 |
2008-09-01,2010-12-31 |
|
超临界二氧化碳微乳液在半导体纳米器件清洗技术中的应用 |
2008-01-01,2010-12-31 |
| 专利名称 | 简介 | 日期 |
|---|---|---|
|
电子工业用玻璃清洗剂组合物 |
2005-05-18 |
|
|
一种水基金属零件清洗剂组合物 |
2003-07-09 |
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|
一种印制线路板用水基清洗剂组合物 |
2004-08-18 |
|
|
一种水基液晶清洗剂组合物 |
2004-08-18 |
|
|
一种水剂清洗剂组合物 |
2001-01-22 |
山东大学纳电子工程研究中心拥有投资近4000万建设的国内一流的微纳加工平台。该实验室拥有国际先进的工艺设备40余台，包括完备的薄膜生长、微纳加工、材料和器件光电性能测试和表征等，加工精度可达7 nm, 器件测试频率高达750 GHz。
23. Yuzhuo Yuan, Shiyuan Dai, Shiqi Yan, Deyu Bao, Yiming Wang, Jiawei Zhang, Yuxiang Li, Qingpu wang, Qian Xin, Aimin Song, “Imaging Array and Complementary Photosensitive Inverter Based on P-Type SnO Thin-Film Phototransistors”, IEEE Electron Device Letters, 42, 1010-1013 (2021).
22. Yuzhuo Yuan, Yiming Wang, Zuoqian Hu, Yang Liu, Min Hao, Yuanhua Sang, Yuxiang Li, Qian Xin, Hong Liu, Aimin Song, “SnOX-Based μW-Power Dual-Gate Ion-Sensitive Thin-Film Transistors With Linear Dependence of pH Values on Drain Current”, IEEE Electron Device Letters, 42, 54-57 (2021).
21. Pengfei Ma, Jiacheng Gao, Wenhao Guo, Gunqun Zhang, Yiming Wang, Qian Xin, Yuxiang Li*, Aimin Song*, “Charge-trapping memory based on tri-layer alumina gate stack and InGaZnO channel”, Semiconductor Science and Technology, 35, 055032 (2020).
20. Pengfei Ma, Wenhao Guo, Jiamin Sun, Jiacheng Gao, Gunqun Zhang, Qian Xin, Yuxiang Li*, Aimin Song*, “Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic–layer deposition”, Semiconductor Science and Technology, 34, 105004 (2019).
19. Pengfei Ma, Guangda Liang, Yiming Wang, Yunpeng Li, Qian Xin, Yuxiang Li*, Aimin Song*, “High performance InGaZnO based ReRAMs”, IEEE Transactions on Electron Devices, 66, 2600-2605 (2019).
18. Pengfei Ma, Jiamin Sun, Guanqun Zhang, Guangda Liang, Qian Xin, Yuxiang Li*, Aimin Song*, "Low–temperature fabrication of HfAlO alloy dielectric using atomic–layer deposition and its application in a low–power device", Journal of Alloys and Compounds, 792, 543-549 (2019).
17. Pengfei Ma, Jiamin Sun, Guangda Liang, Yunpeng Li, Qian Xin, Yuxiang Li*, Aimin Song*, "Half-volt operation of IGZO thin-film transistors enabled by ultrathin HfO2 gate dielectric", Appl. Phys. Lett., 113(6), 063501 (2018).
16. Yiming Wang, Jin Yang, Hanbin Wang, Jiawei Zhang, He Li, Gengchang Zhu, Yanpeng Shi, Yuxiang Li, Qingpu Wang, Qian Xin, Zhongchao Fan, Fuhua Yang, Aimin Song*, “Amorphous-InGaZnO Thin-Film Transistors Operating Beyond 1 GHz Achieved by Optimizing the Channel and Gate Dimensions”, IEEE Transactions on Electron Devices, 65(4), 1377-1382 (2018).
15. Pengfei Ma, Lulu Du, Yiming Wang, Ran Jiang, Qian Xin, Yuxiang Li*, Aimin Song*, "Low voltage operation of IGZO thin film transistors enabled by ultrathin Al2O3 gate dielectric", Appl. Phys. Lett., 112(2), 023501 (2018).
14. Letao Yang, Hanbin Wang, Xijian Zhang, Yuxiang Li, Xiufang Chen, Xiangang Xu, Aimin Song and Xian Zhao, "Thermally evaporated SiO serving as gate dielectric in graphene field-effect transistors", IEEE Transactions on Electron Devices, 64(4), 1846-1850 (2017).
13. Jiupeng Cao, Yatong Zhu, Xiaoyu Yang, Yang Chen, Yuxiang Li, Hongdi Xiao, Wanguo Hou, Jianqiang Liu, “The promising photo anode of graphene/zinc titanium mixed metal oxides for the CdS quantum dot-sensitized solar cell”, Solar Energy Materials and Solar Cells, 157, 814-819 (2016).
12. Tiantian Wei, Gang Chen, Shuai Zhang, Yang Chen, Yuting Hu, Ran Jiang, Yuxiang Li*, “Nonvolatile organic resistive switching memory based on poly(o-methoxyaniline) film”, Microelectron. Eng., 162, 85-88 (2016).
11. X. X. Xu, H. B. Lv, Y. X. Li, H. T. Liu, M. Wang, Q. Liu, S. B. Long, M. Liu, “Degradation of Gate Voltage Controlled Multilevel Storage in One Transistor One Resistor Electrochemical Metallization Cell”, IEEE Electron Device Letters, 36, 555-557 (2015).
10. Bo Li, Tingting Han, Lei Wang, Qingpu Wang, and Yuxiang Li*, "The Stripping Behavior of High-Dose Ion-Implanted Photoresists in Supercritical CO2 Formulations", ECS J. Solid State Sci. Technol., 2, N73-N79 (2013).
9. Tingting Han, Bo Li, Qingpu Wang, Yuxiang Li*, "High-dose ion-implanted photoresist stripping in environmentally benign supercritical CO2 nonfluorous surfactant microemulsions", Microelectron. Eng., 96, 1-5 (2012).
8. Woo Cheol Shin, Han Ul Moon, Seung Hyup Yoo, Yuxiang Li* and Byung Jin Cho, "Low-Voltage High-Performance Pentacene Thin-Film Transistors with Ultrathin PVP/High-k HfLaO Hybrid Gate Dielectric", IEEE Electron Device Lett., 31, 1308-1310 (2010).
7. Yuxiang Li, Yan Wang, Qingpu Wang, Chunlei Ma, "Effects of annealing on the optical and electronic properties of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) copolymer thin films", Adv. Mater. Res., 79-82, 919 (2009).
6. Y. X. Li, L. Yan, R. P. Shrestha, D. Yang, Z. Ounaies, and E. A. Irene, “A study of poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) as a potential organic high K gate dielectric”, J. Vac. Sci. Technol., A, 25, 275 (2007).
5. Y. X. Li, D. Yang, C.A. Jones, III, J.M. DeSimone, and E.A. Irene, Etching SiO2 with HF/pyridine-supercritical carbon dioxide solutions and resultant interfacial electronic properties”, J. Vac. Sci. Technol., B, 25, 1139 (2007).
4. Y. X. Li, L. Yan, R. P. Shrestha, D. Yang, Z. Ounaies, and E. A. Irene, “A study of the optical and electronic properties of poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene) copolymer thin films”, Thin Solid Films, 513, 283 (2006).
3. X. J. Zhang, H. L. Ma, Y. X. Li, Q. P. Wang, J. Ma, F. J. Zong, and H. D. Xiao, “The optical properties of MgxZn1-xO thin films”, Chin. Phys., 15, 2385 (2006).
2. R. P. Shrestha, D. Yang, Y. X. Li, L. Yan, and E. A. Irene, “Characterization and optimization of a P-channel poly(o-methoxyaniline) based thin film transistor”, J. Vac. Sci. Technol., B, 24, 2731 (2006).
1. D. Yang, R. P. Shrestha, Y. X. Li, L. Yan, and E. A. Irene, “Mobility study of a new naphthalenetetracarboxylic diimide derivative”, J. Vac. Sci. Technol., B, 24, 2653 (2006).
1. 李玉香等，“超薄非接触式芯片模块制造方法研究”，山东省重大基础研究项目，ZR2022ZD05，188万元，2023.01-2025.12.
2. 李玉香等，“PEALD法氧化物薄膜晶体管”，一般横向项目，36.05万元，2022.03-2023.06.
15. 国家重点研发计划课题“新型纳米存储器的材料与单元研究”，2016YFA0201801，385万元（山大部分），2016.07-2021.06.
14. 主持山东省自然科学基金项目： “兼具整流效应的新型柔性阻变存储器的研究” ，ZR2013FM033，10万元，2013.10-2016.10.
13. 主持国家自然科学基金专项基金项目： “石墨烯增强的新型聚合物柔性阻变存储器的性能调控与存储机理研究” ，61250013，20万元，2013.01-2013.12.
12. 主 持国家自然科学基金面上项目： “超临界二氧化碳用于半导体纳米器件清洗和刻蚀工艺的研究” ，60876075，35万元，2009.01–2011.12.
11. 作为技术负责人（第二位）参加山东省信息产业发展专项资金项目： “集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业化研究” ，2008R0048，30万元，2008.09 – 2010.03.
10. 主持山东省科技攻关计划： “超临界二氧化碳微乳液在半导体纳米器件清洗技术中的应用” ，2008GG30003007，6万元，2008.01-2010.12.
9. 主持 “九五” 国家重点科技攻关课题： “电子工业中替代ODS物质清洗技术研究” ，97-778-02-01，180万元，1997.11-2000.12.
8. 主持国家重点军工项目： “聚酯改性有机硅漆938” ，35万元，1995.12-1998.12.
7. 主持 “八五” 国家重点科技攻关专题： “新型电子清洗剂DZ-5与清洗工艺” ， 30万元，1992.05-1995.12.
6. 参加山东省自然科学基金项目： “生物物质纳米粒子发光探针的研究及应用” ，5万元，2003-2006.
5. 参加 “九五” 国家重点科技攻关课题： “新型超大规模集成电路清洗技术” ， 270万元，1997.11-2000.12.
4. 参加 “九五” 国家重点科技攻关课题： “新型电子工业清洗技术的开发、推广与产业化” ，100万元，1997.11-2000.12.
3. 参加 “八五” 国家重点科技攻关专题： “新型电子清洗剂DZ-1、DZ-2与清洗工艺” ，30万元，1992.05-1995.12.
2. 参加 “八五” 国家重点科技攻关专题： “新型电子清洗剂DZ-4与清洗工艺” ， 30万元，1992.05-1995.12.
1. 参加 “八五” 国家重点科技攻关专题： “新型电子清洗剂DZ-3与清洗工艺” ， 30万元，1992.05-1995.12.
13. 李玉香，集成电路工艺虚拟仿真实验课程设计及开发，教育部产学合作协同育人项目，5万元，2021.08-2023.08.
12. 王永，王卿璞，邢建平，宗福建，李玉香，钱凯，计峰，崔焱，孙娟娟，微电子与集成电路专业教材群建设，2021年山东大学教学改革重点项目，60万元，2021.01-2022.12.
11. 李玉香，辛倩，王成园，王一鸣，《电磁学》MOOC和SPOC精品在线课程建设，2020年山东大学教学改革一般项目，4万元，2020.01-2021.12.
10. 谢锡文，侯滢，温儒敏，马兵，张强，王震亚，赵爱国，李玉香，赵永新，李学庆，基于文学生活馆的博雅教育创新体系研究，2019年山东大学教学改革重点项目，60万元，2019.05.05-2022.05.05.
9. 王卿璞，崔剑，苏伟，王明星，王永，邢建平，李玉香，陈涤，宗福建，孟令国，任务驱动下教育拓展创新内容方法研究，2019年山东大学教学改革一般项目，4万元，2019.05.05-2022.05.05.
8. 李玉香，刘凤芹，盖志刚，肖洪地，宋洪晓，孙晓明，2015年高等学校教学研究项目子课题：医用物理学双语教学在线开放课程资源建设，教育部高等学校大学物理课程教学指导委员会，DWJZW201501zx-14， 0.15万元，2016.03-2017.08.
7. 李玉香，刘建强，葛美华，山东大学教研项目：《大学物理-电磁学和光学》，山东大学第二批慕课（MOOCs）课程改革立项项目，02XJMOOC04，2万元，2016.01-2016.12.
6. 刘建强，李玉香，葛美华，于淑云，王磊，王春明，肖洪地，刘剑，宋洪晓，徐建强，李冬梅，张强，戴瑛，张承琚，周玉芳，大学物理在线开放课程的建设和教学模式的研究，教育部高等学校大学物理课程教学指导委员会，DWJZW201524hd，0.2万元，2015.09-2017.09.
5. 刘建强，于淑云，李玉香， 葛美华，董建敏，山东大学首批 “翻转课堂” 教学方法改革试点项目--大学物理，sd01020140，1万元， 2015.01-2015.06.
4. 刘建强，李玉香，山东大学教研项目：大学物理---山东大学慕课（MOOCs）课程改革立项，01XJMOOC09，2万元，2014.08-2015.12.
3. 刘建强，李玉香，肖洪地，董建敏，王磊，李冬梅，刘向东，于淑云，葛美华，宋洪晓，胡树军，王春明，刘剑，田玉峰，彭勇刚，李晓玲，尹笋，张锡健，杨欢，物理与文化---山东大学第三批通识教育核心课程建设项目，03TS016 ，5万元，2014.05-2015.12.
2. 刘建强，刘东红，李玉香，肖洪地，宋洪晓，葛美华，山东大学教研项目：物理学优质教育资源共建共享与协同创新机制研究，2013ZD010，重点资助2万元，2013.12-2015.12.
1. 刘建强，李玉香等，中国大学资源共享课 物理学 http://www.icourses.cn/coursestatic/course_3513.html，教育部， 10万元，2013.07-2017.07.
教研论文
7. 李玉香，刘建强，肖洪地，基于成果为本的留学生医学物理教学改革探索[J]，物理与工程，2016，26 (Z1): 221-224
6．李玉香，刘建强，留学生医学物理全英语教学的几点体会，2015年高校物理课程教学系列报告会会议论文集，2015，No.34（1-6页）
5. 李玉香，刘建强，医学留学生大学物理课程教学的探索与思考[J]，物理与工程，2014年增刊: 173—175
4. 刘建强，李玉香，刘东红，武宏，开放课程下物理学优质教育资源的建设与共享[J]，物理与工程，2014年增刊: 117-118
3. 刘建强，宋洪晓，李玉香，葛美华，慕课环境下 “物理学” 精品资源共享课的建设研究，2014教育改革与信息管理国际会议论文集，2014，12月27-28日，5-8
2. 刘建强，管靖华，李玉香，肖洪地，吴明海，张承琚，利用电子教案进行医学物理学教学的思考，山东科技大学学报(增刊)，2003年第22卷.06，140~141
1. 刘建强，管靖华，李玉香，吴明海，张承琚，《医学物理学》电子教案的开发研究，物理与工程（增刊），2003年第13卷，216～217
教学奖励
14. 刘建强，李玉香等，国家级教学成果奖二等奖，2022年.
13. 李玉香，山东大学优秀教师，2021年.
12. 李玉香，“电磁学”获国家级线上线下混合式一流本科课程，2020年.
11. 刘建强，李玉香，“大学物理”获国家级线上一流本科课程，2020年.
10. 李玉香，首届山东大学教师教学创新大赛二等奖，2020年.
9.李玉香，山东大学本科教学优秀奖，2020年.
8. 山东大学“三八红旗手”荣誉称号，2017年.
7. 王卿璞，辛倩，张锡健，王永，李玉香，宋爱民，集成电路工程研究生创新人才培养模式改革，山东省研究生教育教学成果奖二等奖，2018年.
6. 刘建强，李玉香，MOOC课程《大学物理》2017年入选首批国家精品在线课程.
5. 刘建强，李玉香，于淑云，葛美华，董建敏，大学物理MOOC团队获得 “2015年度师德教育活动先进集体”，中国教育工会山东大学委员会，2016.4.
4. 刘建强，李玉香，生命科学专业《大学物理》课程教学改革与素质教育相结合的探索实践，山东大学教学改革成果二等奖.
3. 李玉香，学堂在线，2016年度MOOC教学先锋.
2. 李玉香，爱课程中国大学MOOC，2016年度优秀教师.
1. 李玉香，中国大学MOOC，2014-2015年度优秀教师.
学术奖励
2003年度 教育部国家提名科技进步二等奖（第一完成人）
2002年度 山东省技术发明二等奖（第一完成人）
2001年度 “九五” 国家科技攻关优秀成果（第一完成人）
1998年度 国家发明四等奖（第四完成人）
1998年度 教育部科技进步三等奖（第四完成人）
1997年度 山东省科技进步一等奖（第四完成人）
1997年度 教育部科技进步二等奖（第四完成人）
学术荣誉
2017年度 山东大学“三八红旗手”
2002年度 山东省 “新世纪十大巾帼发明家”
2001年度 “九五” 国家重点科技攻关计划先进个人
