山东大学纳电子工程研究中心拥有投资近4000万建设的国内一流的微纳加工平台。该实验室拥有国际先进的工艺设备40余台，包括完备的薄膜生长、微纳加工、材料和器件光电性能测试和表征等，加工精度可达7 nm, 器件测试频率高达750 GHz。
