Structural, electrical and optical properties of epitaxial Ta-doped titania films by MOCVD
发布时间:2019-04-14
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- 所属单位:
- 微电子学院
- 发表刊物:
- CrystEngComm
- 全部作者:
- 冯先进,栾彩娜,马瑾
- 第一作者:
- 赵伟
- 论文类型:
- 基础研究
- 论文编号:
- 1BAB2A7410104D86A2C9EE6A7D938788
- 卷号:
- 20
- 期号:
- 36
- 页面范围:
- 5395
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2018-09-28