Effect of thermal annealing on the optical and structural properties of γ-Al2O3 films prepared on MgO substrates by MOCVD
发布时间：2019-06-06
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- 所属单位：
- 微电子学院
- 发表刊物：
- Ceramics International
- 全部作者：
- 冯先进
- 第一作者：
- 马瑾
- 论文类型：
- 基础研究
- 论文编号：
- lw-178177
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2016-01-05