Effect of annealing on the structural and optical properties of beta-Ga2O3 films prepared on gadolinium gallium garnet (110) by MOCVD
发布时间:2019-10-25
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- 所属单位:
- 微电子学院
- 发表刊物:
- Ceramics International
- 全部作者:
- 冯先进,肖洪地,马瑾
- 第一作者:
- 曹琼
- 论文类型:
- 基础研究
- 论文编号:
- C1E7596713C74544BB7E5CDC265558E9
- 卷号:
- 44
- 期号:
- 1
- 页面范围:
- 830
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2018-01-01