Synthesis of δ-Ta2O5 heteroepitaxial films on YVO4 (100) substrates
发布时间：2022-02-19
点击次数：
- 所属单位：
- 微电子学院
- 发表刊物：
- Materials Science in Semiconductor Processing
- 第一作者：
- 马瑾
- 论文编号：
- CF6755ED98964DA483876174047E5EC1
- 期号：
- 135
- 页面范围：
- 106065
- 字数：
- 4
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2021-07-07