所属单位：

集成电路学院

论文名称：

Synthesis of δ-Ta2O5 heteroepitaxial films on YVO4 (100) substrates

发表刊物：

Materials Science in Semiconductor Processing

第一作者：

马瑾

论文编号：

CF6755ED98964DA483876174047E5EC1

期号：

135

页面范围：

106065

字数：

4

是否译文：

否

发表时间：

2021-07

发布时间：

2022-02-19