一种在氧化镁衬底上制备单斜晶型氧化镓单晶薄膜的方法
发布时间:2018-12-06
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- 专利名称:
- 一种在氧化镁衬底上制备单斜晶型氧化镓单晶薄膜的方法
- 所属单位:
- 物理学院
- 专利类型:
- 发明
- 申请号:
- 201010531195.4
- 发明人数:
- 4
- 是否职务专利:
- 否
- 申请日期:
- 2010-11-04
- 公开日期:
- 2012-02-01
- 授权日期:
- 2010-11-04
- 发布时间:
- 2018-12-06
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