硅基微阵列芯片的表面差分功能化工艺研究
点击次数：
所属单位：机械工程学院
负责人姓名：满佳
项目性质：横向
项目编号：C4DD4C5F529677F7E053BE07C2CA0610
立项时间：2021-06-03
开始日期：2021-06-03
计划完成时间：2022-05-31
结项日期：2022-05-31
副教授 硕士生导师
性别：男
毕业院校：清华大学
学历：博士研究生毕业
学位：工学博士学位
在职信息：在职
所在单位：机械工程学院
入职时间：2019-01-16
职务：科研教师
学科：机械制造及其自动化
办公地点：山东省济南市经十路17923号
山东大学千佛山校区
创新大厦7-1212
硅基微阵列芯片的表面差分功能化工艺研究
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所属单位：机械工程学院
负责人姓名：满佳
项目性质：横向
项目编号：C4DD4C5F529677F7E053BE07C2CA0610
立项时间：2021-06-03
开始日期：2021-06-03
计划完成时间：2022-05-31
结项日期：2022-05-31