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Lift-Off Mechanism of GaN Thin Films with Buried Nanocavities Investigated by SEM and TEM

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所属单位：微电子学院

发表刊物：Journal of Electronic Materials

全部作者：肖洪地,毛宏志,栾彩娜,刘建强,马瑾

第一作者：肖洪地

论文类型：基础研究

论文编号：DBE67F01DB544898847C76A91BEC549C

卷号：48

页面范围：3036

是否译文：否

发表时间：2019-02-01

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毛宏志 (高级实验师)