Lift-Off Mechanism of GaN Thin Films with Buried Nanocavities Investigated by SEM and TEM
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所属单位:微电子学院
发表刊物:Journal of ELECTRONIC MATERIALS
全部作者:毛宏志,栾彩娜,刘建强,马瑾,肖洪地
第一作者:杨小坤
论文类型:应用研究
论文编号:9600585BF2564969BC16220CA429D8C2
卷号:48
期号:5
页面范围:3036
是否译文:否
发表时间:2019-05-01
发表时间:2019-05-01