一种由磁控溅射制备纳米多孔铜薄膜材料的方法
发布时间：2019-04-15 点击数：
专利名称：一种由磁控溅射制备纳米多孔铜薄膜材料的方法
所属单位：材料科学与工程学院
专利类型：发明
申请号：201610071243.3
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2016-02-01
公开日期：2018-03-27
授权日期：2018-03-27
司鹏超 (教授)
教授
性别：男
在职信息：在职
所在单位：材料科学与工程学院
入职时间：2010-10-22
所属院系： 材料科学与工程学院
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