一种减少蒸发镀膜设备中衬底或其上的材料受烘烤升温影响的装置及应用
发布时间：2019-01-26 点击数：
专利名称：一种减少蒸发镀膜设备中衬底或其上的材料受烘烤升温影响的装置及应用
所属单位：物理学院
申请号：2015110256428
发明人数：2
是否职务专利：否
申请日期：2015-12-30
宋爱民
博士生导师 硕士生导师
毕业院校：山东大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：博士生
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
所属院系： 集成电路学院
办公地点：软件园校区
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