基于梳状栅格的MOEMS无线振动传感器及其工作方法
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所属单位：控制科学与工程学院
申请专利人：王静,贾磊,曹玉强,张法业,隋青美
专利类型：发明
申请号：201710034536.9
发明人数：5
是否职务专利：否
申请日期：2017-01-18
公开日期：2023-08-18
授权日期：2023-08-18
个人信息 Personal information
在职信息：在职
所在单位：控制科学与工程学院
入职时间：1986-07-01