Size-dependent pull-in instability of electrostatically actuated microbeam-based MEMS
发布时间:2022-10-11
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- 所属单位:
- 机械工程学院
- 论文名称:
- Size-dependent pull-in instability of electrostatically actuated microbeam-based MEMS
- 发表刊物:
- Journal of Micromechanics and Microengineering
- 第一作者:
- 王炳雷
- 论文编号:
- 1395253125241114625
- 卷号:
- 21
- 期号:
- 2
- 页面范围:
- 27001
- 字数:
- 4
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2011-02
- 发布时间:
- 2022-10-11