教师个人主页
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集成电路工艺创新中心
电子邮箱： wangchengyuan@sdu.edu.cn
王成园，女，中共党员，山东大学集成电路学院实验师，现工作于集成电路学院集成电路工艺创新中心。日常主要负责微纳加工与测试系统等部分核心设备，总价值一千万元以上，如多套射频磁控溅射镀膜系统、等离子体增强原子层沉积系统、激光显微拉曼光谱测试系统等。
集成电路学院 ，集成电路工艺创新中心 ，实验师
微电子学院 ，集成电路工艺创新中心 ，实验师
微电子学院 ，纳电子工程研究中心 ，助理实验师
山东大学 ，集成电路学院 ，博士
中国石油大学（华东） ，本硕
| 名称 | 简介 |
|---|---|
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半导体材料、薄膜半导体器件及微纳集成电路 |
氧化物半导体材料（IGZO）、薄膜半导体器件（TFT）及微纳集成电路 |
| 项目名称 | 项目周期 |
|---|---|
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BM晶体管V2技术合作项目 |
2023/09/01,2024/12/31 |
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2T0C存储单元技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
|
LTPS工艺技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
|
Plasma工艺技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
|
石英芯片制备工艺研究 |
2022/12/15,2025/12/15 |
|
电路基础功能单元技术开发 |
2023/09/01,2024/12/31 |
|
超薄非接触式芯片模块制造方法研究 |
2023/01/01,2025/12/31 |
