Experimentalist
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王成园，女，中共党员，山东大学集成电路学院实验师，现工作于集成电路学院集成电路工艺创新中心，在微纳米加工工艺与应用方面有一定研究。曾获得“山东大学实验室工作先进个人”荣誉。参与了多个国家级、省部级科研项目，主要涉及到晶体管技术开发、Plasma工艺技术开发、石英芯片制备工艺研究、电路基础功能单元技术开发、超薄芯片模块制造方法研究等方面。参与主讲课程有《微纳加工工艺和测试》、《集成电路工艺实验》、《国家安全教育》等。
本人日常主要负责微纳加工工艺与测试系统等部分核心设备，总价值1000余万元，其中100万元以上大型仪器设备有6台（含5台进口大型设备），30万元以上大型仪器设备有7台，如多套射频磁控溅射镀膜系统、等离子体增强原子层沉积系统、激光显微拉曼光谱测试系统、椭圆偏振光谱仪测试系统等。
集成电路学院 ，集成电路工艺创新中心 ，实验师
微电子学院 ，集成电路工艺创新中心 ，实验师
微电子学院 ，纳电子工程研究中心 ，助理实验师
| 名称 | 简介 |
|---|---|
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半导体材料、薄膜半导体器件及微纳集成电路 |
氧化物半导体材料（IGZO）、薄膜半导体器件（TFT）及微纳集成电路 |
| 项目名称 | 项目周期 |
|---|---|
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BM晶体管V2技术合作项目 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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2T0C存储单元技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
|
LTPS工艺技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
|
Plasma工艺技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
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石英芯片制备工艺研究 |
2022-12-15,2025-12-15 |
|
电路基础功能单元技术开发 |
2023-09-01,2024-12-31 |
|
超薄非接触式芯片模块制造方法研究 |
2023-01-01,2025-12-31 |
